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      退火真空爐的組成組件說明

      2021-04-26 17:23:45 76

        退火真空爐包括設置在爐管內的石英管、爐管的前后端、前端蓋和后端蓋,在爐管的外壁和內壁之間形成石英管加熱腔,石英管和前端蓋以及在端蓋之間形成的反應腔。

        管內風冷吹掃組件包括進氣管、吹掃管和吸入管,進氣管和吸入管設置在后端蓋上,吸入管與反應室連通,吹掃管設置在反應室內,吹掃管一端與進氣管連通,另一端延伸至前端蓋。

        吹掃管包括連接部、盤管部和延伸部,連接部與進氣管連接,盤管部與連接部連接并位于后端蓋附近,延伸部一端與盤管部連接,另一端延伸至前端蓋附近。

        在這種結構中,氮源氣體通過管內的風冷吹掃組件進入反應室前端,氮氣從反應室前端流向后端,吸收大量熱量,然后從管內的風冷吹掃組件中抽離,從而達到對整個反應室的快速冷卻效果。


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